عملکرد کوره آنیل خلاء عمدتاً در پارامترهای زیر منعکس می شود: خروج گاز، نرخ پمپاژ، خلاء نهایی و نرخ نشت.
1. باد کردن
خروج گاز پدیده ای است که مواد به آرامی در خلاء تبخیر می شوند و از نظر عملکرد خلاء یک مسئله اساسی است که باید در نظر گرفته شود. در سیستم خلاء، بر روی سطح هر ماده جامد، ممکن است لایه های مولکولی از تجمع مایعات و گازها تشکیل شده باشد و این لایه های مولکولی به تدریج با کاهش فشار تبخیر می شوند. گازهای بی اثر و حلال های فرار نسبتاً سریع خارج می شوند و بخار آب و روغن به سطح می چسبند و بعد از چند ساعت تبخیر می شوند. ذرات گرد و غبار، مواد متخلخل و سایر اجسام خارجی سطح سیستم را افزایش می دهند که می تواند باعث خروج گاز بیشتر شود.
دما و تشعشع به برخی از مولکول های جذب شده انرژی کافی می دهد تا آنها را از سطح بیرون بکشد. افزایش دمای کوره به تدریج مولکول هایی را آزاد می کند که در غیر این صورت در دماهای پایین تر روی سطح باقی می مانند. بنابراین، با گرم شدن کوره، خروج گاز افزایش می یابد. کاهش دمای کوره یا حفظ دمای ثابت می تواند این را کاهش دهد. تمیز نگه داشتن آن کلید کاهش گازهای خروجی است.
علاوه بر این، شستشو با گاز بی اثر یا نیتروژن برای حذف هوای داخلی می تواند از تشکیل یک فیلم بخار آب در هنگام قرار گرفتن سطح سیستم در معرض هوا جلوگیری کند. این اثر را می توان با گرم کردن فضای داخلی کوره پس از باز شدن آن نیز به دست آورد. برای به حداقل رساندن تعداد دهانه های کوره، به ویژه در هوای مرطوب، نمی توان وقوع خروج گاز را کاهش داد و عملکرد کوره آنیلینگ خلاء را بهبود بخشید.
2. میزان تخلیه
سرعت تخلیه زمانی است که محفظه کوره در فشار اتمسفر است، شیر خلاء باز می شود و محفظه خلاء به فشار مشخص شده می رسد. این روشی برای اندازه گیری عملکرد سیستم در هر فشاری (از جمله پمپاژ گاز سنگین) است. برای تکرارپذیری، محفظه کوره باید تمیز، تخلیه و تخلیه شود، و هر پمپ خلاء DVE باید به مدت کافی برای رسیدن به سرعت کامل پمپاژ کار کرده باشد.
3. خلاء نهایی
خلاء نهایی حالت خلاء است که با تکمیل واقعی تخلیه به دست می آید، در این زمان جریان گاز ناشی از نشت و توانایی سیستم مکش خلاء برای تخلیه در فشار مشخص متعادل می شود. برای حفظ صحت، ابزار اندازه گیری خلاء باید به اندازه کافی حساس و با دقت کالیبره شده باشند. کوره را تا حداکثر دمای خود بالا ببرید تا سرعت تخلیه سیستم افزایش یابد. پس از گرم شدن کوره تحت خلاء و سرد شدن تا دمای اتاق، خلاء نهایی واقعی و نرخ نشت را می توان اندازه گیری کرد. خلاء نهایی پمپ خلاء DVE "فشار کم بسیار زیاد" نامیده می شود و راه خوبی برای دستیابی به عملکرد ایزولاسیون سیستم مکش است.
4. میزان نشتی
نرخ نشتی به سرعت افزایش فشار در محفظه خلاء هنگام بسته شدن خلاء اشاره دارد و شامل دو جنبه است: نرخ نشتی و نرخ تخلیه. نرخ نشتی افزایش فشار ناشی از جریان گاز از طریق نقطه نشتی واقعی در مخزن است که ثابت است. با خالی شدن مخزن، نرخ کاهش تورم (از جمله نشت مجازی) به تدریج به صفر نزدیک می شود.
نشت خالی حجمی است که در قسمت خلاء ایجاد می شود که به آرامی گاز را به داخل کابین نشت می کند. نرخ نشتی بر حسب میکرومتر جیوه (mmHg) در ساعت اندازه گیری می شود که معمولاً به مدت 1 ساعت اندازه گیری می شود و میزان نشت آن از 5 میلی متر جیوه در ساعت تجاوز نمی کند.
هنگام اندازه گیری میزان افزایش فشار حفره کوره، حفره کوره را خالی کرده و گرمایش در گردش را شروع کنید. پس از اتمام تخلیه، حرارت را متوقف کنید تا فشار ثابت بماند (خلاء نهایی)، سپس تمام شیرهای خلاء را ببندید و دکمه توقف چرخه را فشار دهید تا حفره کوره جدا شود.
این امر اثرات بسته شدن شیر را به حداقل می رساند و در عین حال به سیستم اجازه می دهد تا تعادل برقرار کند. بعد از یک ساعت مجدداً خلاء را اندازه بگیرید و افزایش فشار را در واحد زمان محاسبه کنید. به عنوان مثال: اگر فشار اولیه اندازه گیری شده 5 میلی متر جیوه باشد و بعد از یک ساعت 8 میلی متر جیوه باشد، سرعت افزایش آن 3 میلی متر جیوه در ساعت است.