پمپ های خلاء را می توان به دو دسته پمپ های وکیوم نوع تراکمی و پمپ های خلاء نوع جذبی با توجه به مکانیسم و روش به دست آوردن خلاء تقسیم کرد. پمپ های نوع تراکمی گاز را از یک ظرف خاص فشرده می کنند و سپس آن را از ظرف خارج می کنند. مانند پمپ فلاشینگ آب، پمپ مکانیکی، پمپ انتشار، پمپ مولکولی و غیره. نوع دیگر پمپ جذب است که برای کاهش فشار برای به دست آوردن درجه خلاء بر جذب مولکول های گاز در یک فضای خاص متکی است. مانند پمپ تیتانیوم، پمپ برودتی، پمپ جذب و غیره.
پمپ های مکانیکی و پمپ های دیفیوژن ارزان هستند و نرخ پمپاژ بالایی دارند. آنها متداول ترین پمپ های خلاء مورد استفاده در آزمایشگاه ها هستند، اما همه آنها از روغن های خاصی به عنوان مواد کاری استفاده می کنند که باعث آلودگی خاصی به اشیاء آزمایشی می شود. پمپ های مکانیکی تنها می توانند خلاء کم 1~10-1Pa ایجاد کنند. هنگامی که از پمپ انتشار استفاده می شود، یک پمپ مکانیکی باید به عنوان پمپ جلو استفاده شود و خلاء بالا یا خلاء فوق العاده بالا 10-1~10-7Pa می تواند بدست آید. پمپ های دیافراگمی، پمپ های جذب و پمپ های تیتانیوم همگی پمپ های بدون روغن هستند و مشکل آلودگی با بخار روغن وجود ندارد. آنها می توانند به صورت پشت سر هم برای به دست آوردن خلاء فوق العاده بالا بهتر از 10-6Pa استفاده شوند. پمپ مولکولی بر حرکت مکانیکی با سرعت بالا سیلندر داخلی متکی است تا گاز را به صورت جهت دار جریان دهد. به طور کلی، برای به دست آوردن خلاء بالا، باید با پمپ پشتی ترکیب شود. Cryopump پمپ خلاء با بالاترین سرعت پمپاژ است و می تواند به خلاء بسیار بالایی برسد.
