واحد خلاء از اجزای مختلف خلاء تشکیل شده است و یک سیستم اگزوز بدون محفظه خلاء است. واحدهای خلاء به نام پمپ اصلی نامگذاری شده اند. در حال حاضر واحدهای خلاء خانگی عمدتاً شامل واحدهای پمپ پخش روغن، واحدهای پمپ تقویت کننده روغن و پمپ ریشه واحدها

پمپ های اصلی واحد پمپ خلاء کم معمولاً پمپ های خلاء رفت و برگشتی، پمپ های خلاء مهر و موم شده روغن، پمپ های جت بخار آب، پمپ های حلقه آب، پمپ های جذب غربال مولکولی، پمپ های جت بخار روغن، پمپ های ریشه و غیره هستند. واحد پمپاژ خلاء کم فشار کاری بالا و حوضه اگزوز بزرگ است، اما سرعت پمپاژ نسبتا کم است. بیشتر برای پمپاژ خشن محفظه های خلاء و انتقال خلاء، اشباع خلاء، فیلتراسیون خلاء، خشک کردن خلاء، گاز زدایی خلاء و سایر دستگاه هایی با انتشار هوای زیاد و فشار کاری بالا استفاده می شود. هنگام استفاده از یک واحد استخراج با خلاء کم، همچنین لازم است که غبارگیرها، خشک کن ها و سایر اجزای لازم را با توجه به تمیزی، رطوبت یا سایر نیازهای خاص گاز استخراج شده مطابقت دهید.

واحد پمپ تقویت کننده روغن خلاء متوسط ​​برای به دست آوردن فشار کاری 1~10-1Pa استفاده می شود. درجه خلاء نهایی 10-2Pa است. این شامل پمپ تقویت کننده روغن، شیر خلاء، تله، دریچه قطع خلاء کم، دریچه انتشار هوا، خط لوله، تابلوی کنترل الکتریکی، رله فشار آب و سایر اجزا است.

درجه خلاء کار واحد پمپ خلاء متوسط ​​روتز 1~103Pa است. درجه خلاء نهایی 10-1Pa است. سایر اجزا همانند واحد پمپ تقویت کننده روغن می باشد.

درجه خلاء کار واحد پمپاژ خلاء بالا 10-2 ~ 10-3Pa است و درجه خلاء نهایی آن 10-4Pa است. پمپ اصلی واحد معمولاً پمپ انتشار روغن، پمپ تقویت کننده انتشار، پمپ مولکولی، پمپ تیتانیوم، پمپ میعانات با دمای پایین و ... می باشد که این پمپ ها نمی توانند مستقیماً با اتمسفر کار کنند و نیاز به پمپ پیش پمپ یا تعمیر و نگهداری اولیه دارند. برخی از واحدهای استخراج با خلاء بالا پمپ انتشار نیز مجهز به مخزن ذخیره هوای قبل از مرحله برای جلوگیری از نوسانات فشار هوا و بهبود عملکرد واحد هستند.

واحد پمپاژ خلاء فوق العاده بالا در 10-6 ~ 10-8Pa کار می کند. علاوه بر این نیاز که مواد محفظه خلاء دارای نرخ خروجی بسیار کم، میزان نشت هوای کمی باشد و بتواند در دمای بالا در دمای 200-450 درجه سانتیگراد مقاومت کند، الزامات واحد به شرح زیر است: خلاء نهایی پمپ اصلی باید بالا باشد، حداقل 10-7 ~ بالاتر از 10-8Pa. پمپ اصلی دارای سرعت پمپاژ مشخصی در محدوده فشار کاری خلاء فوق العاده بالا است. فشار جزئی گاز رفلاکس از پمپ اصلی باید به اندازه کافی کم باشد. پمپ اصلی با گزینش پذیری قوی نسبت به گاز مورد پمپ باید مجهز به یک پمپ کمکی به اندازه کافی بزرگ باشد. در انتخاب مواد و آب بندی لوله ها، شیرها و سایر اجزای بالای ورودی هوای پمپ اصلی واحد دقت ویژه ای داشته باشید. به طور کلی از فولاد ضد زنگ با نرخ خروج گاز کمتر و حلقه های آب بندی فلزی استفاده می شود.